电感耦合等离子体发射光谱法具有灵敏度高、检出限低、干扰、线性范围宽等优点，在冶金、环境、食品、农业等各行各业得到了广泛的应用。本文利用GBC Quantima 电感耦合等离子体发射光谱仪,建立了测定半导体生产工艺过程中溶液及材料中镓、铁、硫、钒、铜、钙、镁、铝、锌等元素含量的方法，供相关人员参考。

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