为了确定蚀刻液的适宜组分比例及工艺条件，需要确定溶液中这些影响主要性能的阴离子含量。目前，测定溶液中的离子常用的方法为离子色谱法，本文作者根据以往经验通过对样品前处理及实验条件的摸索，建立了离子色谱法测定蚀刻液中氯离子、硝酸根离子和硫酸根离子方法，供相关人员参考。